Похибка позиціонування обертального стола
Складові похибки позиціонування
Використання в пристроях позиціонування високоточних оптичних масштабів разом із оптоелектронними перетворювачами дало змогу реалізувати точний зворотній зв’язок і цим самим суттєво покращити точнісні характеристики пристроїв позиціонування: збільшити роздільну здатність і усунути більшість систематичних складових похибок, зокрема таких, як гістерезис, відхилення зворотнього ходу і похибки тягового ґвинта [1]. Але, оскільки в складних механізмах, якими є пристрої позиціонування, навіть при прецизійному виготовленні механічних компонентів не вдається повністю обмежити всі небажані ступені свободи рухомих елементів, бо існують джерела похибок, котрі не вдається скомпенсувати або ж для компенсації впливу котрих необхідно застосовувати додаткові технічні і алгоритмічні заходи. Зокрема, типовою похибкою обертального стола є похибка кутового позиціонування (рис. 1), яка при компенсування її постійної складової зводиться до точності відтворення заданої позиції [2].
Рис. 1: Зв’язок між похибкою кутового позиціонування і зумовленим нею лінійним переміщенням залежним від відстані до осі обертання r
Типовими прикладами складових похибки позиціонування, зумовлених небажаними ступенями свободи конструкційних елементів, є биття (англ. wobble - кутове відхилення осі обертання за один оберт) і зумовлена ним синусна похибка в точці на висоті h від поверхні стола, осьові відхиленням осі обертання, а також радіальні девіації і ексцентриситет (інакше її називають похибкою центрування - відхилення центру обертання від середньої позиції стола, що виникає під час обертання) (рис. 2).
Серед складових похибки обертального стола вирізняють також косинусну похибку (зумовлена неточністю позиціонування масштабу) і відхилення, зумовлені ефектом теплового розширення елементів конструкції.
Рис. 2: Похибки обертального стола (джерело: Newport Corporation)
При аналізуванні складових похибок виникає проблема їх впорядкування за напрямом відхилення і зведення кутових відхилень до лінійних зміщень у метричних координатах. Стандарт EN ISO 10360-3 є містком, який пов’язує компоненти похибки вздовж певних напрямків з похибками конструкційних параметрів і відповідними відхиленнями у механіці руху обертального стола. Цей стандарт ділить усю сукупність відхилень обертального стола на три складові: танґенційну FT, осьову FA і радіальну FR (рис. 3), котрі залежать від відстані r від осі стола і від висоти h над поверхнею стола. Стандарт визначає також методику експериментального визначення згаданих складових похибок.
Рис. 3: Компоненти похибки позиціонування згідно з EN ISO 10360-3
Приклад оцінювання похибки
Аби серед великої кількості моторизованих обертальних столів можна було вибрати котрийсь для дослідного стенда було зроблено аналіз характеристик обертальних столів прецизійного класу, котрі використовуються у вимірювальних засобах, мікро-лазерних пристроях, ро́ботах і для напівпровідникових технологій. У табл. 1 зібрано вироби - представники таких фірм, як LINOS Photonics GmbH, Newport Corporation, Rockwell Automation і MICOS GmbH. За співвідношенням ціна/якість було вибрано стіл PRS-110 фірми Micos GmbH [3]. Його обладнано оптичною кутовою шкалою, котра разом із електронною схемою відслідковування позиції забезпечує зворотній зв’язок схеми керування мікрокрокового двигуна, що разом із точним механічним виконанням уможливлює прецизійне позиціонування.
Табл. 1: Параметри моторизованих обертальних столів
Фірма - виробник
Micos GmbH
Newport Corporation
LINOS
Rockwell Automation Inc.
познач. виробу
PRS-110
RV120HAT
RT 120 ST
DDR-150
- сер. знач. похибки кутового позиціонування
0,02°
0,005°
0,05°
0,006°
- двобічна відтворюваність
0,01°
0,001°
0,01°
0,0003°
- биття, мкрад
±15
20
±8
- ексцентриситет, мкм
±2,5
4
±2
f - відхилення від площинності, мкм
±2,5
5
допустиме навантаження, кг
10
...